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產(chǎn)品中心真空閥門傳輸閥
PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過(guò)單軸氣動(dòng)執(zhí)行器對(duì)閘門進(jìn)行 L 型運(yùn)動(dòng)的技術(shù)。在 L 型運(yùn)動(dòng)中，閘門垂直移動(dòng)到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - 在最后的運(yùn)動(dòng)中，它被水平推到閘閥座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閘閥座。
更新時(shí)間：2025-03-17
產(chǎn)品型號(hào)：SPTVL 系列(V74)
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